|
ISBN |
0841214751 | ชื่อเรื่อง |
Microelectronics processing : chemical engineering aspects / Dennis W. Hess, editor, Klavs F. Jensen, editor. | พิมพลักษณ์ |
Washington, DC : American Chemical Society, c1989. | เลขเรียก |
621.381 M626 1989 | รูปเล่ม |
xiv, 547 : ill. ; 23 cm. | ชื่อชุด |
vances in chemistry series ; 221. | หัวเรื่อง |
Microelectronics--Materials. | หัวเรื่อง |
Integrated circuits--Design and construction. | หัวเรื่อง |
Surface chemistry. | ผู้แต่งร่วม |
Hess, Dennis W., ed. | ผู้แต่งร่วม |
Jensen, Klavs F., 1952-, ed. | ผู้แต่งนิติบุคคล |
Ameican Chemical Society |
|